超净工作台的净化离不开HEPA高效过滤器

超净工作台的净化离不开HEPA高效过滤器

时间:2022-8-3 编辑:wps-admin

超净工作台的净化离不开HEPA高效过滤器

超净工作台的净化离不开HEPA高效过滤器随着现代工业的崛起,越来越多环境都开始要求无尘无菌,做为无尘无菌空间的超净工作台的的舞台也就越来越大了。

空气净化的产生:空气经过过滤的生产环境首先被航天工业使用。即使一个极其微小的缺陷都可造成卫星工作失误,因此,航天中心和其服务商们建造了带有过滤天花板夹层和过滤墙体的车间。而且首创了许多基本的污染控制理念,其中包括从工作人员洁净服到洁净室使用物的管理方法。

半导体工业采用了许多这方面的技术。然而一个主要的问题是当从小加工车间扩建为有更多工人工作的大型车间后,很难保持其固有的洁净度。早期半导体工业把带过滤天花板夹层和墙体的方法演化为超净工作台。这个主要是把空气过滤器装在单个超净工作台上,并使用无脱落的物质。在超净工作台以外,晶圆被装在密封的盒子中储存、运输。

在大型车间中按顺序排列的超净工作台组成加工区,使晶圆依工艺次序经过而不从露于空气中。超净工作台的过滤器是一种高效颗粒搜集过滤器(高效过滤器)。这些超净工作台过滤器是由含许多小孔,并按手风琴琴叶折叠的脆性纤维组成,由于高密度的小孔与大面积的过滤层,使得大量的空气低速流过。由于超净工作台低速空气可避免产生空气流,有利于超净工作台的洁净度,并且对于操作员而言,在舒适的环境中工作也是必要的。超净工作台典型的空气流量6为每分钟90到100英寸。超净工作台高效过滤器可达到99.99%或更高的过滤效率,并可用于三种净化方法中。

超净工作台的净化离不开HEPA高效过滤器一般来说,超净工作台HEPA高效过滤器装于超净工作台顶部。超净工作台空气由风扇吸入先通过前置过滤器,再通过HEPA高效过滤器,并以均匀平行的方式流出,在工作台表面改变方向,流出工作台。安装档板可控制晶圆表面空气流动方向,通常这种方式称为空气层流立式式(VLF)超净工作台,它是由空气流的方向命名的。

有些超净工作台则把HEPA高效过滤器装于工作台后部,这种方式被称为空气层流平行(HLF)式超净工作台。

不管是哪种类型的超净工作台,都离不开使用HEPA高效过滤器,可以毫不夸张地说:没有了高效过滤器,超净工作台也就达不到其净化要求。

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